Ультравысокочистый один дюймовый легкий газовый клапан для полупроводниковых заводов и аналитических лабораторий с электрополированными поверхностями и мониторингом частиц

Разработанный с высокой точностью для чувствительных к загрязнениям сред, этот клапан с контролем частиц однодюймовый облегченный газовый клапан обеспечивает целостность в критических системах распределения газа. Изготовлен из нержавеющей стали 316L-VAR с электрополированной отделкой <0,5 Ra µм, этот газовый клапан высокой чистоты достигает стандартов по содержанию частиц Class 1/ISO 2 для технологических газов в полупроводниковой промышленности. Самоцентрирующаяся коническая конструкция уплотнения исключает контакт металла с металлом, предотвращая образование частиц во время более 100 000 срабатываний. Являясь важным лабораторный газовый клапан, он включает в себя торцевые уплотнения типа VCR для герметичности по гелию до 1x10⁻⁹ атм-см³/сек He, поддерживая чистоту на уровне ppb для специальных газов, таких как арсин и силан. Не выделяющие частицы уплотнения штока из PTFE и конфигурация с нулевым мертвым объемом соответствуют стандартам SEMI F72. Включает в себя встроенные порты для мониторинга частиц для верификации соответствия ISO 14644-1 Class 3 на месте во время установки.

Основные моменты:
✓ Наноразмерная чистота: <5 particles>0,1μм на литр (по IEST RP CC001.6)
✓ Герметичность: скорость утечки гелия 1x10⁻⁹ атм-см³/сек
✓ Устойчивость к коррозии: Пассивируется по методу азотной кислоты ASTM A967
✓ Виброустойчивая работа: Конструкция штока с антирезонансом
✓ Проверено на производстве: Соответствует SEMI F72 лабораторный газовый клапан

Сценарий применения:
В чистом помещении для полупроводников техники устанавливают клапаны, используя счетчики частиц, чтобы проверить отсутствие загрязнений во время ввода в эксплуатацию газопровода для производства чипов 5 нм.

FAQ:

В: Какая сертификация по содержанию частиц предоставляется с этим газовым клапаном высокой чистоты?
О: Отчеты IEST-CC0016 Class 1 с данными о распределении частиц 0,1-5,0μм.

В: Совместимы ли ваши лабораторные газовые клапаны с токсичными легирующими добавками?
О: Да, разработаны для газов SEMI S2 категории 1 с полной совместимостью материалов.

В: Могу ли я интегрировать мониторинг частиц без прерывания процесса?
О: Да, порты для отбора проб позволяют проводить верификацию на месте в соответствии с ISO 14644-1.

В: Каковы характеристики газовыделения?
О: <1x10⁻⁹ г/см²/сек TML/CVCM по NASA-STD-6001B.

В: Предоставляете ли вы протоколы контроля загрязнения при установке?
О: Доступны подробные установочные комплекты, соответствующие ISO 14644-5.