Дозирующий клапан с ультрачистым управлением для систем очистки электронных компонентов с защитой от загрязнений

Разработанный специально для систем очистки электронных компонентов, обрабатывающих полупроводники и печатные платы, наш дозирующий клапан обеспечивает ультрачистый контроль очищающей жидкости, предотвращая загрязнение. Клапан имеет ультрачистую внутреннюю полость с полировкой Ra 0,05 мкм и футеровкой из PFA для предотвращения выделения частиц (≤1 частица/мл, ≥0,5 мкм), которые могут повредить чувствительные полупроводники.

Совместимый с деионизированной водой (18,2 МОм*см) и IPA, клапан использует перфторэластомерные уплотнения, соответствующие стандартам очистки электроники SEMI F021. Благодаря точному контролю потока в диапазоне от 0,1 до 10 мл/мин и погрешности ±0,1%, он идеально подходит для требований очистки микрокомпонентов. Конструкция с защитой от загрязнений включает в себя замкнутый контур потока для предотвращения контакта воздуха с очищающей жидкостью, поддерживая оптимальный уровень чистоты.

• Ультрачистая полость (Ra 0,05 мкм) с футеровкой из PFA обеспечивает контроль загрязнения ≤1 частица/мл
• Перфторэластомерные уплотнения, совместимые с деионизированной водой/IPA, соответствуют стандартам SEMI F021
• Точный контроль потока (0,1-10 мл/мин, погрешность ±0,1%) адаптирован к микроэлектронным компонентам
• Конструкция с замкнутым контуром потока поддерживает чистоту очищающей жидкости, избегая контакта с воздухом
• Совместимость с ультразвуковыми очистительными машинами для автоматизированных процессов